
아이엠티는 2023년 9월에 상장한 EUV 마스크 레이저 베이킹 장비, 건식 세정 장비를 만드는 회사이다. 세계최초 재료가 많고 반도체 뿐만아니라 이차전지에도 사용될 수 있는 장비를 제작하기 때문에 언제든 부각 될 수 있다.
또한, 삼성전자가 최근 연구를 시작한 3D DRAM에도 들어갈 수있는 재료가 있다.
기업정보
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시총: 1,532 억 (2023.1.27)
- 최대주주 및 특수관계 지분: 최재성 외 40.97% (품절주o), 에프에스티 7.6 % (EUV 펠리클회사)
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매출 추이
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부채비율: 16.52 %, 유보율: 596.26 % (2023년 9월 기준)
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미상환 전환사채 및 신주인수권부사채 등 발행현황

재료
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EUV 마스킹 베이킹 장비, CO2, 레이저를 이용한 건식 세저장비 제조 기업
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국내 유일 EUV 마스크 레이저 베이킹 장비 - 삼성전자 및 ASML과 협업
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CO2세정 기술 ‘MicroJet’을 세계 최초로 개발
주요제품
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공 정
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기 능
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당사의 상용화된 제품
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전
공
정
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노광
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빛을 사용하여 웨이퍼 위에 회로 패턴을 그려 넣는 작업
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EUV Mask용 레이저 응용 장비(세계최초, 고객사 A 공동개발)
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식각
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그려진 회로도를 깎아서 반도체 구조물을 형성하는 과정
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증착
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회로간 구분, 연결을 위해 박막을 형성하는 작업
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이온주입
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소재의 전기적 물성을 변형시키기 위해 불순물 주입
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EDS
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웨이퍼 상태에서 완성된 각각의 반도체 다이의 전기적 테스트
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레이저 프로브 카드 Cleaner(세계최초, 다수 고객사 채택)
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후
공
정
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조립
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패턴 웨이퍼를 단일 Chip 크기로 절단하고 쌓는 작업(Dicing & Stacking)
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HBM용 CO2 Ring Frame Wafer Cleaner
(세계최초, 고객사 C 공동개발)
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패키징
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외부와 연결하는 단자 및 외부 환경으로부터 보호하는 피복 작업
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패키징 몰드 레이저 Cleaner(세계최초, 고객사 D 공동개발)
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테스트
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완성된 Chip을 최종 테스트하는 작업
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HBM용 Burn-In 테스트 소켓 Cleaner(세계최초, 고객사B 공동개발 중)
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관련기사
"[IPO 인터뷰] 아이엠티 “HBM 건식 세정 기술로 글로벌 선도 기업 도약”"(2023.09.05)
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최 대표는 “글로벌 디램 제조 기업과 협업해 이산화탄소 웨이퍼 세정 장비를 HBM 반도체 생산공정에 최초로 적용했다”며 “최근 ‘Ring Frame Wafer Cleaner’는 고객사로부터 퀄(품질인증)을 받았고, ‘Burn-in Board Cleaner’도 연내 추가 주문을 예상한다”고 말했다.
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최 대표는 넓은 고객층과 건식 세정 사업의 확장성을 아이엠티의 강점으로 꼽았다. 반도체 파운드리 분야에서 삼성전자, SK하이닉스, TSMC 등을 고객사로 두고 있고 디스플레이와 2차전지 분야에서는 삼성디스플레이, LG디스플레이, LG에너지솔루션 등과 협업하고 있다.
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회사는 국내 유일로 극자외선 마스크 레이저 베이킹 장비 사업을 전개하는 등 기술력을 확보했다. 특히 해당 기술은 삼성전자와 공동 개발한 것으로 알려졌다.
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아이엠티는 기존 반도체 습식 세정 방식의 단점을 보완할 수 있는 레이저 건식 세정 방식을 개발했다. 고대역폭메모리(HBM) 분야에 적용 가능한 3세대 CO2세정 기술 ‘MicroJet’을 세계 최초로 개발했다.
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3D D램을 만들기 위해서는 3차원 수직방향으로 적층하는 스태킹(Stacking) 기술이 필수인데, 스태킹 분야에서 CO2 Wafer 세정 기술을 세계 최초로 개발하고 상용화한 아이엠티가 주목을 받는 모습이다.
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아이엠티가 공시한 보고서에 따르면 아이엠티는 세계 최초로 EUV분야에서는 EUV Mask(극자외선 마스크)용 레이저 베이킹(Baking) 기술을 개발하고, 스태킹 분야에서는 CO2 Wafer 세정 기술을 세계 최초로 개발하고 상용했다.
주요 연구연혁
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No
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연구개발명
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주관기관
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정부
출연금
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연구기관
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상용화
여부
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관련
제품
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1
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3D 나노 복합구조 분석 광검사측정 장비 핵심기술 개발
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과기정보통신부
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4,650백만원
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2022.04~2025.12
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진행중
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-
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2
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40% 이상의 효율 달성을 위한 실리콘/III-V 탠덤 태양전지 국제공동연구
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산업통상자원부
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1,620백만원
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2021.10~2024.09
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진행중
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-
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3
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Mask Laser 복합 시스템의 공동개발
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글로벌 반도체 S사
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2018.04~2019.04
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상용화
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MLC-600
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4
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1KW급 레이저 세정장비 개발
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조선업체 HD사
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2017.07~2019.12
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상용화
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IMT1000P
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5
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Mask Laser Bake 시스템 공동개발
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글로벌 반도체 S사
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2016.03~2016.09
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상용화
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MLB-500
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(신규주 시) IPO 내용
공모가 : 14,000원
희망밴드 : 10,500-12,000 원
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